易威奇 - IWAKI CHINA
首页 > 产品介绍 > 半导体气动泵

CFD系列
全氟材质、高精度、分辨率高达1.0mL/shot、
精细流量调节的化学液补充系统

高分辨率

最小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性。CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入。


耐腐蚀过流端

氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。针对化学腐蚀,PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。


广的吐出率调节

打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。


配备泄漏传感器

每台泵都配有泄漏传感器,可实时检测任何泄漏情况。

 

规格

最大吐出量

1 mL/shot

最大吐出压力

0.05 MPa

最大冲程率

30 spm

主要材质

PTFE, PFA, PCTFE

液体输送温度范围

20 ~ 60 °C

 

流量(L/min)
最大揚程(m)
最大吐出壓力(MPa)
介質最低溫度(°C)
介質最大溫度(°C)
水處理功能
搜寻 >>